泵使用日久，真空度渐有下降，可能是润滑油混入可凝性气体和润滑油裂介变质，以及零件老化所致，可用换油、换零件，逐一试验。

泵拆装后，有大漏气声，可能是橡胶件装配不当，损坏，应调整或更换。

真空泵出口检查，全压强不高，旋去加油塞无明显漏气声，可能存放不当，有水汽进入泵内，应更换新油。

无漏气声，换油无效，应检查阀座上小油孔是否堵塞，小孔位置在泵的短阀片处月形槽内。

接入系统后真空度不高，可能是系统接头，管道阀门，各类设备有漏气，应逐一捉漏检查，排除故障。

泵未经拆卸清洗，突然出现撞击声，真空度下降，可检查旋片弹簧是否折断，或有无异物进入泵内。

排气阀片老化变形、损坏或螺钉拉脱，会出现异样气声和油面的显著泛动，也会影响真空度，应调整重装。

以上措施均无效，又无漏气声，可能真空泵使用日久，零部件磨损或受腐蚀所致，也可能是转子变形，精度降低，甚至转子、旋片等零件损坏，应拆开检查，修整或换上新零件。